একটি সেমিকন্ডাক্টর (FAB) পরিষ্কার ঘরে আপেক্ষিক আর্দ্রতার লক্ষ্যমাত্রা প্রায় 30 থেকে 50%, যা ±1% এর একটি সংকীর্ণ ত্রুটির মার্জিনকে অনুমতি দেয়, যেমন লিথোগ্রাফি জোনে - অথবা দূর অতিবেগুনী প্রক্রিয়াকরণ (DUV) জোনে আরও কম - যেখানে অন্য কোথাও এটি ±5% পর্যন্ত শিথিল করা যেতে পারে।
কারণ আপেক্ষিক আর্দ্রতার বিভিন্ন কারণ রয়েছে যা পরিষ্কার ঘরের সামগ্রিক কর্মক্ষমতা হ্রাস করতে পারে, যার মধ্যে রয়েছে:
১. ব্যাকটেরিয়ার বৃদ্ধি;
2. কর্মীদের জন্য ঘরের তাপমাত্রার আরামের পরিসর;
৩. ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চার্জ দেখা দেয়;
৪. ধাতুর ক্ষয়;
৫. জলীয় বাষ্প ঘনীভবন;
৬. লিথোগ্রাফির অবক্ষয়;
৭. জল শোষণ।
ব্যাকটেরিয়া এবং অন্যান্য জৈবিক দূষণকারী পদার্থ (ছাঁচ, ভাইরাস, ছত্রাক, মাইট) ৬০% এর বেশি আপেক্ষিক আর্দ্রতাযুক্ত পরিবেশে বৃদ্ধি পেতে পারে। কিছু ব্যাকটেরিয়া সম্প্রদায় ৩০% এর বেশি আপেক্ষিক আর্দ্রতায় বৃদ্ধি পেতে পারে। কোম্পানি বিশ্বাস করে যে আর্দ্রতা ৪০% থেকে ৬০% এর মধ্যে নিয়ন্ত্রণ করা উচিত, যা ব্যাকটেরিয়া এবং শ্বাসযন্ত্রের সংক্রমণের প্রভাব কমাতে পারে।
৪০% থেকে ৬০% এর মধ্যে আপেক্ষিক আর্দ্রতাও মানুষের আরামের জন্য একটি মাঝারি পরিসর। অতিরিক্ত আর্দ্রতা মানুষকে বমি বমি ভাব করতে পারে, অন্যদিকে ৩০% এর কম আর্দ্রতা মানুষকে শুষ্ক, ফাটা ত্বক, শ্বাসকষ্ট এবং মানসিক অসুখী বোধ করতে পারে।
উচ্চ আর্দ্রতা আসলে ক্লিনরুমের পৃষ্ঠে ইলেকট্রস্ট্যাটিক চার্জ জমা কমায় - এটি একটি কাঙ্ক্ষিত ফলাফল। কম আর্দ্রতা চার্জ জমার জন্য আদর্শ এবং ইলেকট্রস্ট্যাটিক স্রাবের সম্ভাব্য ক্ষতিকারক উৎস। যখন আপেক্ষিক আর্দ্রতা ৫০% ছাড়িয়ে যায়, তখন ইলেকট্রস্ট্যাটিক চার্জ দ্রুত ক্ষয় হতে শুরু করে, কিন্তু যখন আপেক্ষিক আর্দ্রতা ৩০% এর কম হয়, তখন তারা একটি অন্তরক বা ভিত্তিহীন পৃষ্ঠে দীর্ঘ সময় ধরে টিকে থাকতে পারে।
৩৫% থেকে ৪০% এর মধ্যে আপেক্ষিক আর্দ্রতা একটি সন্তোষজনক আপস হিসেবে ব্যবহার করা যেতে পারে, এবং সেমিকন্ডাক্টর পরিষ্কার কক্ষগুলি সাধারণত ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চার্জ জমা সীমিত করার জন্য অতিরিক্ত নিয়ন্ত্রণ ব্যবহার করে।
আপেক্ষিক আর্দ্রতা বৃদ্ধির সাথে সাথে ক্ষয় প্রক্রিয়া সহ অনেক রাসায়নিক বিক্রিয়ার গতি বৃদ্ধি পাবে। পরিষ্কার ঘরের চারপাশে বাতাসের সংস্পর্শে আসা সমস্ত পৃষ্ঠ দ্রুত হয়।
পোস্টের সময়: মার্চ-১৫-২০২৪
হোম
পণ্য
আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন
খবর