একটি সেমিকন্ডাক্টর (এফএবি) পরিষ্কার ঘরে আপেক্ষিক আর্দ্রতার লক্ষ্যমাত্রা প্রায় 30 থেকে 50%, যা ±1% এর ত্রুটির সংকীর্ণ মার্জিনকে অনুমতি দেয়, যেমন লিথোগ্রাফি জোনে - বা দূরের অতিবেগুনী প্রক্রিয়াকরণে (DUV) জোন - অন্য কোথাও এটি ±5% শিথিল করা যেতে পারে।
কারণ আপেক্ষিক আর্দ্রতার অনেকগুলি কারণ রয়েছে যা পরিষ্কার কক্ষগুলির সামগ্রিক কর্মক্ষমতা হ্রাস করতে পারে, যার মধ্যে রয়েছে:
1. ব্যাকটেরিয়া বৃদ্ধি;
2. কর্মীদের জন্য কক্ষ তাপমাত্রা আরাম পরিসীমা;
3. ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চার্জ প্রদর্শিত হয়;
4. ধাতু জারা;
5. জলীয় বাষ্প ঘনীভূতকরণ;
6. লিথোগ্রাফির অবনতি;
7. জল শোষণ.
ব্যাকটেরিয়া এবং অন্যান্য জৈবিক দূষক (ছাঁচ, ভাইরাস, ছত্রাক, মাইট) 60% এর বেশি আপেক্ষিক আর্দ্রতার সাথে পরিবেশে উন্নতি করতে পারে। কিছু ব্যাকটেরিয়া সম্প্রদায় 30% এর বেশি আপেক্ষিক আর্দ্রতায় বৃদ্ধি পেতে পারে। সংস্থাটি বিশ্বাস করে যে আর্দ্রতা 40% থেকে 60% এর মধ্যে নিয়ন্ত্রণ করা উচিত, যা ব্যাকটেরিয়া এবং শ্বাসযন্ত্রের সংক্রমণের প্রভাবকে কমিয়ে দিতে পারে।
40% থেকে 60% এর মধ্যে আপেক্ষিক আর্দ্রতাও মানুষের আরামের জন্য একটি মাঝারি পরিসর। অত্যধিক আর্দ্রতা মানুষকে ঠাসাঠাসি বোধ করতে পারে, যখন 30% এর নিচে আর্দ্রতা মানুষকে শুষ্ক, ফাটা ত্বক, শ্বাসকষ্টের অস্বস্তি এবং মানসিক অসুখী বোধ করতে পারে।
উচ্চ আর্দ্রতা আসলে ক্লিনরুম পৃষ্ঠে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চার্জের জমে থাকা কমিয়ে দেয় - একটি পছন্দসই ফলাফল। কম আর্দ্রতা চার্জ জমে এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক স্রাবের একটি সম্ভাব্য ক্ষতিকারক উত্সের জন্য আদর্শ। যখন আপেক্ষিক আর্দ্রতা 50% ছাড়িয়ে যায়, তখন ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চার্জগুলি দ্রুত বিলুপ্ত হতে শুরু করে, কিন্তু যখন আপেক্ষিক আর্দ্রতা 30% এর কম হয়, তখন সেগুলি একটি অন্তরক বা একটি ভিত্তিহীন পৃষ্ঠে দীর্ঘ সময়ের জন্য টিকে থাকতে পারে।
35% এবং 40% এর মধ্যে আপেক্ষিক আর্দ্রতা একটি সন্তোষজনক সমঝোতা হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে এবং অর্ধপরিবাহী পরিষ্কার কক্ষগুলি সাধারণত ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চার্জের সঞ্চয় সীমিত করতে অতিরিক্ত নিয়ন্ত্রণ ব্যবহার করে।
ক্ষয় প্রক্রিয়া সহ অনেক রাসায়নিক বিক্রিয়ার গতি আপেক্ষিক আর্দ্রতা বৃদ্ধির সাথে বৃদ্ধি পাবে। পরিষ্কার ঘরের চারপাশে বাতাসের সংস্পর্শে আসা সমস্ত পৃষ্ঠগুলি দ্রুত হয়।
পোস্টের সময়: মার্চ-15-2024
বাড়ি
পণ্য
আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন
খবর